Техникалық параметрлері:
| Элемент | Параметр |
| Сынақ ауқымы | 0,01~6500(cc/㎡,24сағ) |
| Ажыратымдылық коэффициенті | 0,001 |
| Өткізгіштік бетінің ауданы | 50 c㎡(басқалары тапсырыс бойынша жасалуы керек) |
| Микроядро диаметрін өлшеу | 108*108мм |
| Үлгі қалыңдығы | <3 мм (қалыңырақ керек-жарақтарды қосу керек) |
| Үлгі саны | 1 |
| Сынақ режимі | Тәуелсіз сенсор |
| Температура диапазоны | 15℃ ~ 55℃ (температураны реттеу құрылғысы бөлек сатып алынады) |
| Температураны бақылау дәлдігі | ±0,1℃ |
| Тасымалдаушы газ | 99,999% жоғары таза азот (ауа көзін пайдаланушы) |
| Тасымалдаушы газ ағыны | 0~100 мл/мин |
| Ауа көзінің қысымы | ≥0,2МПа |
| Интерфейс өлшемі | 1/8 дюймдік металл құбыр |
| Өлшемдері | 740мм (Ұ)×415 мм (В)×430мм (Ж) |
| Вольтаж | Айнымалы ток 220 В 50 Гц |
| Таза салмақ | 50кг |